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低温成膜で高硬度のDLC(TAC)膜を提供

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最終更新日:2022年11月07日

株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパン
株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパン
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部品の傷付き、摩耗にお困りの方必見。水素フリーDLC(ta-C)膜は高硬度・高密度で、高い耐摩耗性!熱による基材の変形なし

フィルタードアーク方式(FCVA)による水素フリーのDLC膜(ta-C)は、 既存のPVD方式やCVD方式と異なり、電磁フィルターにより不純物を除くため、 パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。 また室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、 セラミックス等の様々な材料への成膜も可能です。 更に10um以上の厚膜も作成可能となり、自動車部品の高品質化、長寿命化による付加価値を高めます。 DLC膜のみならず、金属膜の作成も可能です。 受託成膜、装置販売も承っております。 【特長】 ■ 高硬度 (~50GPa) ■ 高密度 ■ 高密着性 ■ 耐摩耗性 ■ 低温成膜 (<100℃) ■ DLC(TAC)+装飾膜が可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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低温成膜で高硬度のDLC(TAC)膜を提供

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基本情報

【適用分野】 ■ 樹脂材料、セラミックス材料(耐摩耗性向上) ■ 光学部品(キズ付き防止) ■ 自動車部品(10um以上の厚膜作成可能。高品質化、長寿命化、燃費向上による高付加価値化。) ■ プリンター産業(耐摩耗性、耐腐食性向上) ■ ガラスレンズ、プラスチック等の成形用精密金型の離型膜 ■ ハードディスク産業

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弊社の開発技術は国際特許を取得し社会的にも大きな役割を担っています。 FCVA方式によるスーパーDLC(水素基フリーのta-C膜)(*2)は、 既存のPVD方式やCVD方式により生成されるDLC膜と比較し全く異なるプロセスで成膜されております。 そのほか金属とプラスチックとの離型性に優れた複合金属膜「Micc膜(*3)」があります。 FCVA方式により生成されるコーティング膜は、現在 ハードディスク産業、 精密機械産業、半導体産業などの分野で急速に採用されており、 今後、自動車産業、ナノインプリト産業や生体材料分野への展開が期待されています。

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