付着物除去・金属不純物低減！ご使用の用途に応じた洗浄をご提案
当社では、特殊ウェハの洗浄（再生）を行なっております。 ザグリ形状などの「治具ウェハ」とアルミナ、石英、SiC、AlNなどの 「特殊材料ウェハ」が対象となります。 ご使用の用途に応じた洗浄をご提案します。その他、各種ウェハの 洗浄についてもご相談ください。 【概要】 ■対象 ・治具ウェハ：ザグリ形状など（材質 Si） ・特殊材料ウェハ：アルミナ、石英、SiC、AlN他 ■対応サイズ：12インチ ■洗浄内容 ・付着物除去（メタル膜、有機物） ・金属不純物低減（5×E10～1×E12 atoms/cm2台） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【洗浄フロー】 <前処理室> ■受入検査：入荷状態の確認（破損有無等） ■前洗浄 ・自社開発 母材ダメージレスのケミカル処理 ・メタル膜＆有機物除去 <クリーンルーム> ■仕上洗浄：クリーン洗浄機使用（清浄化） ■最終検査 ・目視検査：Particle 集光灯下≦10個 ・金属不純物：同時処理モニターウェハのTXRF分析にて確認 ■梱包 ■出荷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■特殊ウェハの洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社のシンボルマークは澄みきった空をイメージし、自然と環境へのやさしさと思いやりを表現しています。貴重な自然、環境を守り、次世代に継承していきたいという強い思いがすべての当社の事業のベースにあります。当社は資源循環型社会の創出や環境への負荷低減への具体的取組みとして、産業廃棄物の無害化・再生、半導体・パネル製造装置部材の精密洗浄、シリコンウェハの再生、ファインケミカルなど幅広い事業を化学技術を駆使して展開しております。常にお客様、社会の抱える課題と向きあい、長年にわたりリデュース、リユース、リサイクルのソリューションを提供してまいりました。この蓄積により、国内外を問わず、お客様からの「信頼（リライアンス）」、という財産を築きつつあります。信頼、高い評価が、社員一人一人の生きがいであり、これからも一致団結、絶え間なく進化し、常に新しい製品やサービスを提供してまいりたいと考えています。
