垂直走査低コヒーレンス干渉法により、高精度なオンマシン計測・インライン評価を実現!
『smartWLIシリーズ』は、GBS社が製品化した垂直走査低コヒーレンス 干渉法(CSI)を用いた三次元表面プロファイラー(白色干渉計、光学式三次元表面形状・粗さ計)です。 光学式三次元表面プロファイラーは、レンズ金型などの精密加工部品、自動車部品、電子部品、機能材料などの製造工程や品質検査において、表面の凹凸、傷、節目などの表面性状を非接触で測定を行えます。 三次元表面性状測定の国際規格ISO25178-6(国内規格JIS B0681-6)である垂直走査低コヒーレンス干渉法(CSI)は、観察視野(干渉対物レンズの倍率)に依存しない高い垂直(凹凸)感度が特長です。 『smartWLIシリーズ』には、製造現場でのインライン検査、大型の対象物を計測するオンマシン計測、エンジンシリンダーの内壁計測に求められる計測器があります。 また、解析ソフトとして業界標準のMountainsMap(R)を採用しております。
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基本情報
【GBS社の概要】 ●イルメナウ工科大学(ドイツ)から1994年にスピンオフしたデータ処理技術研究所ZBSの事業会社として1997年に設立 ●2008年、白色干渉の光学計測機器光学式3次元表面プロファイラーの製造開始 ●世界で200台以上の自動機導入実績 ●独国Daimler社への複数導入実績、ホーニング総合メーカーGehring社とも連携 【製品特長】 ■GPU(NVIDIA等)の採用により高スループットを実現 ■高精細カメラ(5M)とハイスピードカメラ(170Hz)を選択可能 ■解析ソフトとして業界標準のMountainsMap(R)(Digital Surf社)を採用 ■ピエゾスキャンモデルは垂直分解能0.1nm未満(nanoscanは0.03nm) ■走査長400μm・スキャン速度Max250μm/sのピエゾスキャンモデル(compact, extended) ■走査長5mmのモータースキャンモデル(extended range) ■サンプリング間隔(10nm)を実現した高解像度モデル(nanoscan) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【計測事例】 ■SiC研磨面 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラインアップ(5)
型番 | 概要 |
---|---|
smartWLI nanoscan | 軽量コンパクト・高解像度モデル |
smartWLI next | 電動タレット付き汎用モデル |
smartWLI extended | 手動タレット付き汎用モデル |
smartWLI extended range | 軽量コンパクトモデル(モータスキャン) |
smartWLI compact | 軽量コンパクトモデル(ピエゾスキャン) |
カタログ(6)
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キヤノングループは、グローバル企業として世界中で幅広い事業を展開して います。 その一員として、日本国内を中心にマーケティング活動やソリューション提案を 担っているのが、キヤノンマーケティングジャパングループです。 私たちは、社員一人ひとりがお客さまに近い存在として、「顧客主語」と 「ものづくりへの参画」を実践し、お客さまの価値を最大化するお手伝いを していきます。