SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示！
★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期： 2023年12月13日（水）～15日（金） 会場： 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ：業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ：フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ：超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
■設計排気速度 : 70～7,385 m³/h ■到達真空度 : 0.03～0.001 hPa (mbar) ※各モデルで異なります。詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
モデル、オプション、数量等により価格は変動します。お気軽にお問い合わせください。
納期
用途／実績例
【用途】 ■ DSシリーズ：半導体ハーシュプロセス、PVD ■ BAシリーズ：半導体ライトプロセス、分析装置 ■ BCシリーズ：半導体ミディアムプロセス 他
詳細情報
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DSシリーズ最大サイズの2機種：DS 8162F, DS8163B 排気曲線
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BCシリーズはガスを低温キープ可能：BC 0601 G, BC 1001 G, BC1200A 排気曲線
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BAシリーズは空冷100m3のオンリーワン製品：BA 0100 C 排気曲線
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| DSシリーズ | 半導体ハーシュプロセス、PVDなどの用途向け |
| BAシリーズ | 半導体ライトプロセス、分析装置など向け |
| BCシリーズ | 半導体ミディアムプロセス向け |
カタログ（2）
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企業情報
【真空ソリューションのワンストップショップ】 ブッシュグループは世界最大級の真空ポンプ、真空システムメーカーです。ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプともに多様なメカニズムの製品を揃え、幅広くサイズ展開しています。高真空を得意とする真空ポンプメーカー「ファイファー・バキューム（Pferiffer Vacuum + Fab Solutions)」をグループ傘下に持ちます。世界の幅広い産業界で積み重ねたノウハウで、真空システム設計や導入後のサービスも含め、お客様のアプリケーションに合わせた真空ソリューションを提供しております。 【グローバルおよび国内展開】 世界45ヵ国に現地法人を戦略的に配置しております。ビジネスをグローバル展開するお客様を、現地でもサポート可能です。 国内でも1981年の日本法人設立以来、日本に根差した経営に努めてまいりました。設立間もない1985年には神奈川県平塚市にサービス拠点兼物流倉庫を構え、2004年には本社ビルに統合して拡充を図ったのもその一環です。本社工場の他、東北、関西、九州にサービス拠点を配し、日本全国のお客様をサポートする体制を整えています。
