マイクロギア 超微細加工による高アスペクト比メタルパーツ

基本情報

■ マイクロギア以外のアプリケーション例 1. 高アスペクト比メタル構造例:タルボ･ロー干渉計用のX線回折格子。高アスペクト比(例: 金の厚さ250 µm，線幅2.4 µm)の吸収格子，短周期の位相格子等を実現。 2. 金のチェッカーボード構造 周期35µm (メタル/スペース = 17.5 µm : 17.5 µm)， 金の厚さは160 µm アスペクト比: 約9 3. 微細貫通孔(X線アパーチャ。基板無し) (a) マルチホール例 / X線マルチコリメータ 厚さ80 µmの金のメンブレン上に直径3 µmの高アスペクト円形貫通孔を規則的に多数配列。X線マルチコリメータや，微細加工装置の組み込みパーツとして使用。 (b) シングルホール例 / X線アパーチャ 厚さ200 µmの金のメンブレンの中心に，直径5 µmの高アスペクト円形貫通孔を一つ形成。放射光施設のX線アパーチャとして使用。 4. 金のハニカムメッシュ構造 6角形構造の内側にさらに微細な6角形構造が形成されている微細メタル構造。最小構造の金の線幅は約0.4 µm，高さは4 µm。

価格帯

納期

用途／実績例

※具体例，写真等は本ページ付属のPDFファイル（「カタログ」）にて御覧ください。 ■ マイクロギア例1 ハーモニックドライブ歯車(高精度マイクロマニピュレータ向け，高速度伝達比，バックラッシュ無し) 構造高さ1,100 µm，構造幅: 30 µm ■ マイクロギア例2 (射出成型モールド) 高アスペクト比を持つ高精度の並行構造例。 ニッケル製マイクロギアアレイ (樹脂製射出成型パーツ用のモールド)。 構造: 高さ2,000 µm，歯車の構造幅: 35 µm

詳細情報

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  ■ マイクロギア例2 (射出成型モールド) 高アスペクト比を持つ高精度の並行構造例。 ニッケル製マイクロギアアレイ (樹脂製射出成型パーツ用のモールド)。 構造: 高さ2,000 µm，歯車の構造幅: 35 µm

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  ■ 金のハニカムメッシュ構造 (本体) 500倍拡大のSEM画像: 6角形構造の内側にさらに6角形構造が形成されている。 (左上) 15,000倍拡大のSEM画像。金の構造幅は約0.4 µm，高さは4 µm。