3種のエンドイフェクターを使い分け極薄ウェハーの安全、高信頼搬送を実現！
当社が取り扱う、オーストリア国メカトロニック・システムテクニック社製の 『極薄ウェハー搬送用エンドイフェクター』をご紹介します。 「ベルヌーイ・バキュームエンドイフェクター」をはじめ、「トップグリップ・ エンドイフェクター」や「コンタクトレス・エンドイフェクター」があります。 3種のエンドイフェクターを使い分け、極薄ウェハーの安全、高信頼搬送を 実現します。 【種類】 ■ベルヌーイ・バキュームエンドイフェクター ■トップグリップ・エンドイフェクター ■コンタクトレス・エンドイフェクター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■ベルヌーイ・バキュームエンドイフェクター ・吹出媒体：Air or N2 ・圧力：150-300kPa ・消費量：60-90l/min ■トップグリップ・エンドイフェクター ・吹出媒体：Air or N2 ・圧力：150-250kPa ・消費量：60-90l/min ■コンタクトレス・エンドイフェクター ・吹出媒体：Air or N2 ・圧力：150-300kPa ・消費量：60-120l/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■極薄ウェハー搬送用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
デリクソンテクノロジージャパン株式会社では半導体装置、周辺機器の中古売買及び、半導体製造装置周辺機器のロボット、RF電源、マッチングボックス、VATバルブ等の修理サービスを行っております。
