完全に有機物のみで構成！ウェハとの接触時にパーティクル汚染を起こしません
当社では、Perlast社製の『ウェハハンドリング製品』を取り扱っております。 材料は、完全に有機物のみで構成されているため、ウェハとの接触時に パーティクル汚染を起こしません。 また、エンドエフェクター・パッドをカスタムデザインすることができます。 このようなデザインにより、パッドが相手側ハードウェアに確実に捕捉され、 アッセンブリが簡単になります。 【特長】 ■完全に有機物のみで構成 ■ウェハとの接触時にパーティクル汚染を起こさない ■低接触力ソリューションを最適化 ■エンドエフェクター・パッドをカスタムデザインできる ■パッドが相手側ハードウェアに確実に捕捉され、アッセンブリが簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
デリクソンテクノロジージャパン株式会社では半導体装置、周辺機器の中古売買及び、半導体製造装置周辺機器のロボット、RF電源、マッチングボックス、VATバルブ等の修理サービスを行っております。