直流高電圧、正負両極出力が可能な、静電チャックの専用電源です
株式会社クリエイティブテクノロジーでは、静電チャックの導入、専用電源や周辺機器の一括提案・購入が可能です。 当社の『静電チャック専用電源』は、より快適・安全に静電チャックが使用できるよう開発されており、用途に合わせたスペックの選択が可能です。 チャックシステム異常発生時には、電源が自動でOFFになる安全機能が搭載されており、未然に事故を防ぐことが可能です。 また、デチャックアシスト機能と極性切替機能により、電源OFF時の残留電荷の軽減や安定した把持力を維持できるよう設計されています。 【特徴】 ■用途に応じてスペックの選択が可能 ■異常時の自動電源OFF機能 ■残留電荷の軽減 ■極性切替による安定した把持力が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、HPよりお気軽にお問い合わせください。 HP：https://creative-technology.co.jp/products/chuck/
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基本情報
【静電チャック専用電源が推奨されるケース】 ■新たに静電チャックを使用する場合 ■残留電荷にお困りの場合 ■安定した把持力で静電チャックを使用したい場合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
【適用例】 ■静電チャック導入時 ■デチャック性の改善 ■把持力の安定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| CTPS-3KV2AF | 3Kv対応の静電チャック専用電源になります。 |
| CTPS-2KV2AS | 2Kv対応の静電チャック専用電源になります。 |
カタログ（2）
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企業情報
1985年、脆性材料であるファインセラミックスの加工技術開発からクリエイティブテクノロジーはスタートしました。 1990年代には、その加工技術をコアとして、半導体製造装置向け静電チャックの開発に成功し、さらに2000年代前半には、それまで培ってきた静電チャックの開発製造技術をもとに静電チャックの再生事業を立ち上げ、世界中のお客様とのつながりを構築しました。 そして現在、私たちは半導体業界で利用されてきた技術をさまざまな形に進化させ、付加価値の高い静電吸着応用製品の開発に取り組んでいます。 クリエイティブテクノロジーは、モノとモノをくっつける技術で、あらゆる分野の省力化・IoT化に貢献していきます。 サンプルをお預かりできる場合は、弊社での吸着テストもおこなっております。まずはお気軽にご相談ください。