高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性に優れています
『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを 2点標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■圧力表示範囲：0.1×10^-7～1.32×10^1Pa ■圧力表示：測定レンジ自動切換 ■セットポイント：2点標準装備（オープンコレクタ） ■外形寸法（mm）：H99×W209×D330 ■質量：1.9kg（オプションボード未装着時） ■エミッション電流：10μA、100μA、1mA自動切換設定または固定設定 ■標準構成：真空計本体（測定球及びケーブルは構成品に含まれません） ■対応：CEマーキング、RoHS ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。