4探針法によるシート抵抗測定システムです
コンパクトに形成された四点プローブシステムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、ならびに導電性薄膜等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、多様化する電子材料の抵抗率、 シート抵抗値 を四探針法により迅速かつ高精度に測定します。
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基本情報
メタル層、エピ層、イオン注入層、拡散層等といった薄膜から厚膜まで様々な膜質に対応でき、さらに平均値、V/I、標準偏差の表示機能やWindowsを用いて、データ集計､3Dマッピングなどが可能です｡又､オプションとして、拡張測定レンジ、SPC（統計管理機能）、温度補正機能の追加やCtoC使用に対応できます｡
価格帯
納期
用途／実績例
シート抵抗測定
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企業情報
雄山株式会社計測機器部は、半導体、有機ＥＬ、液晶、太陽電池、燃料電池の研究開発や生産に必要な検査・解析・評価用装置の製造販売及び輸入販売を行っています。特に、特殊環境下での測定が必要な研究開発部門にて使用される装置開発を得意として最先端分野への納入実績も数多く有しています。又、現在は、従来のプロービング技術を基軸にそれがインテグレートされた応用技術分野への挑戦も行っており、将来は半導体を核とした応用技術も含め全ての分野での検査・解析・評価のサポートが出来る体制作りを目指しています。 【本社・支店所在地】 ◆神戸本社 〒650-0047 神戸市中央区港島南町１丁目４番地６ TEL（078）304-5178（DI） FAX（078）304-6087 ◆東京支店 〒107-0062 東京都港区南青山1-15-9 第45興和ビル TEL（03）3403−0771 FAX（03）3403-0813 ◆名古屋支店 〒460-0002 名古屋市中区丸の内2-19-25 ｙｈ丸の内ビル TEL（052）212-4932 FAX（052）212-4935
