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FIB薄片リフトアウト装置 アクシスプロ『AxisPro』

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アクシスプロ AxisPro

最終更新日:2021年08月23日

株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部
株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部
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半導体の断面解析に欠かせないFIB加工薄片を大気雰囲気にて自在にリフトアウト

アクシスプロ「AxisPro」は、熟練を要した顕微鏡下でのリフトアウト作業を、どなたにでも簡単容易に出来る様にデサインされた電動制御マイクロマニピュレーターシステムです。 アクシスプロ「AxisPro」を使用することにより、作業者の負担が軽減できると共に、正確なリフトアウトが可能になる事で、作業の脱属人化・標準化・正確性・再現性が激的に向上します。 ※詳しくは、以下リンク先よりお問合せください。

    分析機器・装置
APFCSS-1.jpg

FIB薄片リフトアウト装置 アクシスプロ『AxisPro』

APFCSS-1.jpg
APFCSS-1.jpg
  • 関連リンク - http://microsupport.co.jp/category/mm_ms/

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基本情報

【製品仕様】 ■フルカバータイプ、オープンタイプを選択可能 ■マイクロスコープ一体型構造でシームレスな操作(総合倍率280~3100倍) ■ズーム、左右アーム、フォーカス、試料ステージ、オール電動制御 ■全ての操作が、画面を見ながらのマウス操作で可能(フルセット) ■ツール回転機構で試料の姿勢制御が自在(手動・電動) ■2つの回転試料台がユーセントリック制御可能(電動) ■カスタムにも柔軟に対応できる設計思想(ハードウェア・ソフトウェア)

価格情報

お問合せください。

価格帯

500万円 ~ 1000万円

用途/実績例

■FIB薄片リフトアウト(切り出した後のピックアップと受渡し)

ラインアップ(2)

型番 概要
APFC-302 アクシスプロFC 標準セット
APSS-304 アクシスプロSS 電動フルセット

企業情報

株式会社マイクロサポート

株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部

試験・分析・測定

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マイクロサポートは、マイクロスコープをベースとした分析前処理用サンプリングシステムのメーカーです。 肉眼では見えない微小異物等を、マイクロスコープ(顕微鏡)で観察しながらマニピュレーターで自在に操作可能なハードウェアとソフトウェアを自社開発にて提供しています。 精密な位置決め技術を応用した新製品開発にも注力しています。

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