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半導体検査向け『抵抗測定用 コンタクトプローブ』

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最終更新日:2024年06月13日

Micro Point Pro ltd株式会社 本社
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高い比抵抗測定実現のために、幅広いラインアップの4探針プローブのご紹介。製品サポートも充実 ※資料進呈

Micro Point Pro(マイクロポイントプロ)社の『4探針プローブ(コンタクトプローブ)』は、 高品質のハイスピードスチールを使用し、極めて低い抵抗値が特長です。 先端には超硬合金とオスミウム合金を使用!耐久性と電気的接触性を選択可能。 プローブの本体は、信頼性の高い比抵抗測定のための好適なソリューションを 提供する「Fellプローブ(クロムメッキボディ)」の他、 「ディスポーザブルプローブ(プラスチックボディ)」、 「Alプローブ(アルミボディ)」の3タイプをご用意しております。 【特長】 ■低摩擦アッパーガイド ■広範囲なプローブ先端半径の選択 ■個別の針圧調整が可能 ■高破壊電圧と低リーク

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半導体検査向け『抵抗測定用 コンタクトプローブ』

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基本情報

【その他の特長】 ■黄銅製の下部ガイドにルビーガイドを挿入可 ■タングステンカーバイドまたはオスミウム合金の針先 ■修理および構成サービス ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途/実績例

【用途】 ■シリコンインゴットの抵抗率測定 ■ウェーハの抵抗率の4点測定 ■エピタキシャル層、イオン注入層、ディフューズ層の4点測定 ■金属膜、その他の膜の4点測定 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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Micro Point Pro Ltd(MPP)は、2010年にKulicke&Soffa(K&S)から バックエンドツールの製造ラインを取得したことをきっかけに設立されました。 この取得には、40年以上の経験を持つ高度な従業員によって支えられる知識と ノウハウが含まれています。 MPPはその後、半導体市場においてバックエンドとフロントエンドの両方で グローバルリーダーとして確立しました。私たちは追加の製造プロセスの開発と 取得によって、成長し進化するお客様のニーズに対応する包括的な ソリューションを提供できるようになりました。 MPPは、マイクロエレクトロニクス業界における高精度な消耗具ツールの 需要とサポートに対応する能力と専門知識を有しています。 私たちの製品はすべての主要なパッケージングプロセスとアプリケーションを カバーし、ウェハーまたは薄い導電膜の抵抗測定テスト用の プローブヘッドソリューションに特化しています。

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