より良いプラズマ源を実現させるため、プラズマ科学の基礎に立ち返ります！
『HDRS-114』は、高速結晶成長と高品質結晶成長を両立させる、超高真空の 用途に対応した高密度ラジカルソースです。 従来のラジカル源にはない、ハイブリッドプラズマ源を採用。 従来品比100倍のラジカル供給を達成しました。 当社オリジナルのハイブリッドプラズマ構造が高密度ラジカルを作り出します。 【特長】 ■高速結晶成長と高品質結晶成長を両立させる ■超高真空の用途に対応したタイプ ■従来のラジカル源にはない、ハイブリッドプラズマ源を採用 ■従来品比100倍のラジカル供給を達成（当社計測） ■当社オリジナルのハイブリッドプラズマ構造が高密度ラジカルを作り出す ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ポイント】 ■窒素分子が原子ラジカルになるプロセスを正しく理解する →窒素分子をプラズマ状態に励起するには、約14evのエネルギーが必要 ■正しく理解したプラズマ科学で、プラズマ源を見直してみる →窒素分子をプラズマ状態に解離させる事にフォーカスすると、必要なエネルギー領域において、 ICPプラズマ源では電子が殆ど存在しないので、従来のプラズマ源では窒素分子を十分に プラズマに出来ていない、と考えられる ■正しく理解したプラズマ科学を、プラズマ源に反映させる →ICPとCCPをハイブリット化した、これまでにない新しいプラズマ源 ■製膜に必要なラジカルの発生量を正確に測定して検証する →成膜に重要な原子状ラジカル密度を計測・保証したプラズマ源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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KKEは平成三年創立以来、今日まで皆様方の御厚い御支援、御協力を賜り厚く御礼を申し上げます。創立以前は私自身が技術業務に専念しておりました。その当時の学んだ事を糧にKKEは皆様と共に育って参りました。特に規格商品を持たず真空技術分野の「開発、設計、製造」を中心に手掛け、時には「産、官、学」共に御協力させて戴き大変喜ばしい事と存じます。お客様個別の仕様内容に応じ「開発、設計、製造」に最後まで取り組む姿勢を持って御客様のニーズに対し適確な判断の下で今日まで進んで参りました。21世紀の最先端科学技術に対応できる技術、開発指向型の企業を目指し「物創り」で社会に貢献することによって皆様方と共に幸福となるように努力致します。今後ともKKEを宜しくお願い致します。