微小放電がほとんど発生しない構造の鏡筒を新たに開発し、長時間安定稼動を実現しました
『CABL-UH』は、高加速電圧の採用により、レジスト内の電子線の 前方散乱が少なく、より微細な加工が可能な電子線描画装置です。 130kVの加速電圧は1段加速で生成し、従来の多段加速による電子銃よりも 短い構造となっています。この1段加速の設計により、低収差で クーロンぼけの少ない電子光学系が実現しました。 また、お客様の用途、予算に応じて110kV、90kVのラインアップも 揃えています。是非お問い合わせください。 【特長】 ■高加速電圧を採用 ■レジスト内の電子線の前方散乱が少ない ■より微細な加工が可能 ■大電流で高解像度の描画が可能 ※英語カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【製品詳細】 ■ビーム径：1.6nmΦ以下 ■加速電圧：130kV, 110kV, 90kV ■ステージ：8インチ対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして20年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。最近では、世界最高レベルの加速電圧を誇る130kVのXYZ型描画装置CABL-UHシリーズも販売しております。