半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒を起こしてしまった事例をご紹介
半導体メーカーがメンテナンスを行うために行ったベーキング作業 および酸化作業の打ち合わせ後、半導体製造装置に残留している 有害物質を検知管で測定する際に、有害物質が漏洩し、装置の傍を 通った際に被災してしまいました。 被災者は、事務所で約1時間休憩後も体調不良のため、メーカーの 産業医の診察を受け、さらに産業医の指示で大学病院で診察を受けたところ、 急性薬物中毒の診断を受け4日間の入院となりました。 【提案】 ■作業前の環境濃度の確認、作業中の周囲への漏洩確認、 作業後の原状回復確認にガスモニターのご使用がお勧め ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【事例概要】 ■発生場所 ・半導体製造装置のメンテナンス作業中 ■対策 ・装置の扉を開放しないで有害物質の検知ができるようにすること ・装置内の有害物質等の検知を扉を開けて行わなくても出来るように 検知システムを自動化する等の検討を行う ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
理研計器株式会社は、「財団法人理化学研究所」のコンツェルンの一社 として創設されて以来、同研究所の科学技術を軸に産業用ガス検知警報 機器の専門メーカーとして可燃性ガスによる爆発防止、作業環境における 有害ガスの監視など産業防災安全の確保に努めてまいりました。 これからも尊い人命と貴重な財産の損失ゼロを目指し、技術開発力を一層 強化し、高品質の産業用ガス検知警報機器及び各種優れたガスセンサを世 界の国々に供給し、産業防災安全の確保に貢献してまいります。
