半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作業者が被災した事例
製造工程の膜付前洗浄作業では硫酸・過酸化水素・純水の混合液Mを、 マーキング作業ではリン酸・塩酸の混合液Nを使用していました。 M液とN液は別々に処理していましたが、誤ってM液回収用のポリタンクに N液を投入したため、塩化水素ガスが発生。 ポリタンクから吹き出した白煙の塩化水素ガスがクリーンルーム内に 広がり、室内にいた3 名の作業者が目の痛みを訴え治療を受けました。 【提案】 ■毒性ガスの漏洩を早期に検知し、警報を発する設備の設置がお勧め ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【事例概要】 ■発生場所 ・半導体素子製造工場でガリウム砒素ウエハーを製造しているクリーンルーム ■対策 ・廃液回収用ポリタンクは確実に蓋をし、又は適切な排気装置を設置するなどにより、 ポリタンクから発生した化学物質の蒸気が作業室内に漏出しないようにすること ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
理研計器株式会社は、「財団法人理化学研究所」のコンツェルンの一社 として創設されて以来、同研究所の科学技術を軸に産業用ガス検知警報 機器の専門メーカーとして可燃性ガスによる爆発防止、作業環境における 有害ガスの監視など産業防災安全の確保に努めてまいりました。 これからも尊い人命と貴重な財産の損失ゼロを目指し、技術開発力を一層 強化し、高品質の産業用ガス検知警報機器及び各種優れたガスセンサを世 界の国々に供給し、産業防災安全の確保に貢献してまいります。
