平面形状測定用 反射・透過波面測定!サブナノメートルレベルの位相測定を行える
『OptoFlat』は、低コヒーレンス干渉原理を使用し、平面形状を簡単に 測定することが可能なInterOptics社製の干渉計です。 小型かつ安定した機械設計でありながら、従来の干渉計と比較して低価格。 高出力LED光源で使用することにより、レーザースペックル干渉や 光学系内部干渉が発生せずクリアな干渉縞が生成される、 サブナノメートルレベルの位相測定を行うことができます。 【特長】 ■低コヒーレンス干渉原理を使用 ■平面形状を簡単に測定することが可能 ■小型かつ安定した機械設計 ■従来の干渉計と比較して低価格 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【低コヒーレンス干渉原理の特長】 ■裏面反射の軽減 ■高出力LED光源 ■簡単操作と透過波面切り替え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■平面形状測定用 反射・透過波面測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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