高速昇温、高速冷却!金属アルミに近い熱伝導で、耐腐食性に優れています
ワッティーが提供する『窒化アルミ製セラミックヒータ(Hi watty)』は、 半導体製造装置にご使用いただけます。 純日本製高性能ヒータを使用しており、室温から600℃まで5秒で昇温。 製作可能寸法は130×130mmまたはΦ130mm以下で、カスタムが基本と なっています。 【特長】 ■5秒で600℃ 純日本製高性能ヒータ ■高速昇温、高速冷却 ■金属アルミに近い熱伝導 ■熱膨張が小さい ■電気絶縁性が高い ■優れた耐腐食性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ▼お問い合わせ先 TEL:相模原事業所 042-704-5352 MAIL:info@watty.co.jp
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基本情報
【仕様】 ■最高使用温度:600℃ ■発熱体:タングステン ■熱伝導率:180W/m・K以上 ■熱膨張係数:4.6x10-6/℃ ■体積抵抗率:1013Ω・cm以上 ■製作可能寸法:130×130mm または Φ130mm以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途/実績例
【用途】 ■半導体製造装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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当社(旧社名:京浜測器株式会社)は創業40周年を迎える2007年1月1日より ワッティー株式会社として生まれ変わりました。 社名は当社製造部門の柱である 「熱システム事業部」(主に半導体・FPD製造装置ほか各種精密機器に 使われるヒータユニットの開発、製造販売)でなじみの深い電力単位のワット(watt)を、 もう一本の柱である「センサ事業部」(主に液面レベルセンサ開発、 製造、販売)ではセンシングする液体の代表格、水(water)を、 それぞれイメージできる名前としてWattyとしました。