特許機器の微振動測定技術が生んだ、高性能アクティブ磁場キャンセラーのご紹介
『AMC-331』は、電子線応用装置を磁場変動から守る、高性能アクティブ 磁場キャンセラーです。 磁場センサで検知した外乱磁場を、コントローラとヘルムホルツコイルの 組合せで制御することにより、外乱磁場の影響を抑制。 電子顕微鏡の画像改善や電子線ビーム加工装置の加工精度向上に 役立ちます。 【特長】 ■最大40～60dBの優れた減衰性能 ■シールドによる磁場対策に比べ約1/10のコストを実現 ■装置周辺にコイルを固定するだけ ■対象装置に応じてコイルを設計 ■周波数解析に基づき、複数の外乱磁場をピンポイントで制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■制御方式：準直流＋交流代表値制御＋各軸独立フィードバック制御 ■制御範囲：±15μT(認定可) ■制御周波数：準DC～1kHz ■減衰率：40～60dB ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■走査型電子顕微鏡(SEM) ■透過型電子顕微鏡(TEM) ■集束イオンビーム(FIB) ■測長SEM(CD-SEM) ■電子ビーム描画装置(EBL) ■質量分析装置(MS) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
振動を制御することで、快適な環境・精密な環境・安全な環境を創出することが出来ます。 特許機器は、振動問題を解決するパイオニア企業です。 地震に対する減震免震製品から、ナノテクノロジー産業の微振動制御まで、環境測定、構造解析、応答予測などソリューション技術と用途に合わせた振動対策製品（免震耐震製品、防振装置、制振装置、除振装置など）を提供します。
