ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシング・エッチングの他、表面改質処理（官能基付与）が可能。
『PR Series』は、減圧下でプラズマ処理が可能なロールtoロールタイプの処理装置です。 レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、 用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を 基材表面に強固に付与することができます。 本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請けしております。 詳しくはお問い合わせください。 【特長】 ■ロールtoロールタイプ ■減圧下でプラズマ処理 ・大気圧装置と比べて有機物除去効果や表面改質効果が高い ・大気圧装置では出来なかったプロセスも対応（各種官能基修飾など） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【多様なプロセス対応】 ■官能基修飾処理（接着性向上、親水化、撥水化、他） ■アッシング / エッチング 処理 ■デスカム / デスミア 処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
プラズマ・真空関連装置を中心に、洗浄装置、マテハン他、多分野において、多種多様なニーズに対応します。自社製品以外でも、OEM等、装置製造受託もフレキシブルに対応します。 プラズマ処理については、電子、医療他の多分野において、他企業や大学との共同研究開発を実施。受託処理のみも受付中。 設計等メーカーポジションを活かし、工場内の設備保守委託や装置メーカー様からの保守メンテナンス委託、既存設備の移設、中古設備リファブまで、自他社製問わず各種装置の保守メンテナンスをお請けします。