デモ照射受付中!
ICF70マウントで使用できる小型ハイパワーのプラズマ源です。シンプルな設計のプラズマ源とプラズマの異常放電やパルス衝撃に強く出力バンドが広く工夫されたコントローラは、ユーザーによるメンテナンスのしやすさと、ハイコストパフォーマンスを実現しました。
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基本情報
仕様 ビームエネルギー:230eV~430eV ビーム電流 :10mA以上 電流密度 :2.25mA/cm2 *上記計測条件: WD=50mm (250eV) ビーム形状 :ブロードガウシアン エミッション電流:最大400mA 使用真空度 :2.2E-2Pa~ 7.4E-1Pa程度 ( TMP800L/s使用時) 使用ガス :アルゴン(窒素も可能、但しデータは変わります) ガス導入口 :VCR1/4”メスナット 放電電極材質 :Mo(標準仕様) 接続ケーブル :5m コントローラ仕様 OMI-0001PS アノード電圧電流:可変(アナログ式) メーター :電圧値、電流値(アナログ式) サイズ :19インチラックサイズ 電源 :AC100V5A 製品ページ http://www.omegatron.co.jp/product/996.html トピックス http://www.omegatron.co.jp/topics/998.html
価格情報
通常120万円(税抜)直接販売のみ
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途/実績例
エッチング プラズマ照射
詳細情報
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アルゴンプラズマ
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窒素プラズマ
企業情報
弊社の営業方針は次の3本柱より成り立ちます。 ・高度で独自性のある基礎研究のお手伝いを通じ、研究者の方々 の“夢”と“思い”の具現化に貢献する事。 ・弊社の得意中の得意でもある高性能電子銃、高性能イオン銃等を主体とする、高性能真空実験装置をお客様のニーズに沿った最適なものに仕上げ、供給及びメンテナンスを施し、研究開発に貢献する事。 ・これらの基礎技術を応用し、オメガトロンのオリジナル商品を開発し、広範囲な産業界及び研究開発業界に貢献する事。