エアサーボアクティブ除振装置で対策！全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました
液晶基板検査装置のアクティブ除振対策事例をご紹介します。 大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の振動環境を 事前調査したところ許容値を超えていました。 本測長機は光学的にパターンの線幅を観測するもので振動環境に対して 敏感なため、エアサーボアクティブ除振装置で対策を実施。 アクティブ除振対策後は、装置の振動許容値をクリアし、 また全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました。 【事例概要】 ■課題：大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の 振動環境を事前調査したところ許容値を超えていた ■対策：エアサーボアクティブ除振装置を設置 ■効果：装置の振動許容値をクリアし、また全周波数域に亘って 良好な振動環境を構築することができた ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
振動を制御することで、快適な環境・精密な環境・安全な環境を創出することが出来ます。 特許機器は、振動問題を解決するパイオニア企業です。 地震に対する減震免震製品から、ナノテクノロジー産業の微振動制御まで、環境測定、構造解析、応答予測などソリューション技術と用途に合わせた振動対策製品（免震耐震製品、防振装置、制振装置、除振装置など）を提供します。