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最終更新日:2022年02月18日

株式会社パスカル
株式会社パスカル
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30kV対応かつコンパクトな制御電源!1Pa台まで使用可能な差動排気設計

『PHD-30K-034』は、超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、 表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析システムです。 コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから 取り付けやメンテナンスが容易。 また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での 測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。 【特長】 ■30kV対応かつコンパクトな制御電源 ■1Pa台まで使用可能な差動排気設計 ■2段差動排気(オプション)により100Pa台でのモニター可能 ■スキャンコイル(オプション)による電子線スキャニングで、  同一条件での多数回折が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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RHEEDユニット『PHD-30K-034』

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  • 関連リンク - http://www.pascal-co-ltd.co.jp/product/sased_rhd.h…

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基本情報

【RHEED標準構成(差動排気RHEED)】 ■RHEED 電子銃:ICF34フランジマウント、加速電圧30kV(最大) ■高圧電源およびリモートコントローラー ■差動排気用ターボ分子ポンプ ■標準的な円形蛍光スクリーン:ICF152フランジ用またはICF203フランジ用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社パスカルでは、PLD /レーザーMBE装置をはじめとする真空装置、 原子散乱分光法などの表面分析装置、極低温冷凍機システム、アジレント (バリアン)の真空ポンプなど、研究開発に有用なさまざまな実験装置を 取り扱っております。 真空機器・装置、理化学機器・装置においてグローバルな視野を持ち、 常に時代の先を見つめ、新しい技術と商品ニーズを先取りし、ユーザー様の 役に立つ製品を提供し続けてまいります。

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