特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止
『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の 自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。) 【特長】 ■ポンプ油の逆流防止 ■圧縮空気およびその配管は不要 ■駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用 ■制御回路不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■使用圧力領域：大気圧～10^-2Pa程度 ■リーク量：＜5×10^-7Pa・m3/sec ■コンダクタンス：420L/min(20℃空気に対する分子流領域での値) ■メンテナンスタイム：30,000サイクルまたは1年 ■接続フランジ：NW25フランジ ■使用流体：大気またはガス(腐食性ガスを除く) ■使用環境：周囲温度10℃～40℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。
