圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した絶対圧力を測定可能。
温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ・優れたゼロ点安定性 ・低温度依存性 ・優れた対振動性 ■コンパクト・低消費電力 ・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト ・消費電力0.5W ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■M-342DG-1D ■M-342DG-1N ■M-342DG-11 ■M-342DG-12 ■M-342DG-13 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造装置、パネルディスプレイ製造装置、各種真空装置 他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。
