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厚膜成膜

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最終更新日:2022年04月06日

東邦化研株式会社
東邦化研株式会社
  • 公式サイト

薄い膜だけじゃない!厚く成膜することもできます。

一般的にナノレベルの成膜を行うことが多い薄膜ですが、弊社では厚膜のご依頼も多くございます。 1ミクロンから数ミクロン、ご案件によっては10ミクロン以上のご相談もいただきます。 もちろん、どのような基材に何の膜をつけるのかによって変わってまいりますが、まずはお気軽にご相談ください★(もちろん薄い膜も得意です) 東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 小型装置から大型装置まで豊富なラインナップと、35年以上の確かな実績をもとに、お客様のご要望に柔軟にお応えします!

    加工受託表面処理受託サービスアルミニウム
厚膜写真.jpg

厚膜成膜

厚膜写真.jpg
厚膜写真.jpg
  • 関連リンク - http://www.tohokaken.jp/index.htm

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基本情報

■対応膜種  金属膜:Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など  積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr など  酸化膜:Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、ZrO2、ZnO など  窒化膜:AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など  炭化膜:SiC、TiC、BC など ※使用装置によって変わりますので、ご相談ください。 ■最大搭載可能サイズ:800×1000mm ※小型装置から大型装置まで幅広く保有しております。 ■対応可能基板  ・Si Wafer  ・ガラス  ・フィルム  ・セラミックス  ・金属材   他

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用途/実績例

【対象物】 ガラス、セラミック、樹脂材、金属材、Siウエハなど多岐にわたり、立体物にも対応可能

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とってもわかりやすい『薄膜Q&A』

とってもわかりやすい『薄膜Q&A』

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『表面処理薄膜コーティングに関する技術資料』

『表面処理薄膜コーティングに関する技術資料』

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【加工実績付き】東邦化研株式会社カタログ

【加工実績付き】東邦化研株式会社カタログ

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東邦化研株式会社

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電子部品・半導体

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弊社ではイオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる 機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 発足当初より導電性や絶縁性、耐食性など『機能性薄膜』に重点を置き、 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、 試作・開発・研究などの少量から、中小ロットの生産まで、 幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 現在、Φ300mmサイズの小型機から 1000mm×900mmの成膜エリアを持つインライン方式の量産機まで 計11台の成膜装置が稼動しております。 なお、お客様からお預かりした基板の開封から成膜品の梱包までの 全工程をクリーンル―ム内で行っております。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください! 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします! ※HPに展示会出展情報も記載しております。  ぜひご覧ください。

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