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質量分析装置ASTON アプリケーションノートのご紹介

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ASTON Impact / ASTON Plasma

最終更新日:2022年09月16日

アトナープ株式会社
アトナープ株式会社
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質量分析装置ASTONを用いた様々なアプリケーションをご紹介します。

質量分析装置ASTONを使ったアプリケーションノートをご紹介します。 <アプリケーションノート一覧> 1. ASTON Application Note_vol.1_チャンバークリーニング 2. ASTON Application Note_vol.3_エタノールの簡易成分分析 3. ASTON Application Note_vol.2_高感度終点検出_エッチングプロセスモニタ ※アプリケーションノートは、随時追加してまいります。

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Chamber

質量分析装置ASTON アプリケーションノートのご紹介

Chamber Cleaning.png
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基本情報

質量分析装置ASTONを使用した、様々なアプリケーションをご参照ください。 ※アプリケーションノートは、随時追加してまいります。

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用途/実績例

■プロセスコンディションモニタ(エッチング・成膜) ■エンドポイントモニタ(エッチング・クリーニング) ■チェンバ汚染モニタ ■ガス除害システムの残留ガス分析 ■環境モニタ ■発酵プロセスモニタ ■天然ガス分析モニタ

この製品に関するニュース(5)

NEW!質量分析装置ASTON アプリケーションノート第三弾

  • カタログニュース

質量分析装置 ASTON のアプリケーションノート第三弾「ASTON Application Note_vol.2_高感度終点検出_エッチングプロセスモニタ」を公開しました。 是非、ご一読ください。 <アプリケーションノート一覧> 1. ASTON Application Note_vol.1_チャンバークリーニング 2. ASTON Application Note_vol.3_エタノールの簡易成分分析 3. ASTON Application Note_vol.2_高感度終点検出_エッチングプロセスモニタ <テクニカルノート一覧> 1. ASTON Technical Note_vol.2_空気中のクリプトン測定 2. ASTON Technical Note_vol.3_タングステンエッチング測定 3. ASTON Technical Note_vol.4_再現性 ※アプリケーションノート、テクニカルノートは随時追加してまいります。

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NEW!質量分析装置ASTON アプリケーションノート第二弾!!

  • カタログニュース

質量分析装置 ASTON のアプリケーションノート第二弾「ASTON Application Note_vol.3_エタノールの簡易成分分析」を公開しました。 是非、ご一読ください。 <アプリケーションノート一覧> 1. ASTON Application Note_vol.1_チャンバークリーニング 2. ASTON Application Note_vol.3_エタノールの簡易成分分析 <テクニカルノート一覧> 1. ASTON Technical Note_vol.2_空気中のクリプトン測定 2. ASTON Technical Note_vol.3_タングステンエッチング測定 3. ASTON Technical Note_vol.4_再現性 ※アプリケーションノート、テクニカルノートは随時追加してまいります。

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NEW!質量分析装置ASTON テクニカルノート第三弾!!

  • カタログニュース

質量分析装置 ASTON のテクニカルノート第三弾「ASTON Technical Note_vol.4_再現性」を公開しました。 是非、ご一読ください。 <アプリケーションノート一覧> 1. ASTON Application Note_vol.1_チャンバークリーニング <テクニカルノート一覧> 1. ASTON Technical Note_vol.2_空気中のクリプトン測定 2. ASTON Technical Note_vol.3_タングステンエッチング測定 3. ASTON Technical Note_vol.4_再現性 ※アプリケーションノート、テクニカルノートは随時追加してまいります。

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NEW!質量分析装置ASTON テクニカルノート第二弾!!

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質量分析装置 ASTON のテクニカルノート第二弾「ASTON Technical Note_vol.3_タングステンエッチング測定」を公開しました。 この機会に、是非、ご参照ください。 <アプリケーションノート一覧> 1. ASTON Application Note_vol.1_チャンバークリーニング <テクニカルノート一覧> 1. ASTON Technical Note_vol.2_空気中のクリプトン測定 2. ASTON Technical Note_vol.3_タングステンエッチング測定 ※アプリケーションノート、テクニカルノートは随時追加してまいります。

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アトナープ株式会社

アトナープ株式会社

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アトナープ株式会社は、日本をはじめ、米国・インドにも拠点をもつ機器メーカーです。半導体・天然ガス・医薬品業界において、高品質な機器類を開発・製造しご提供しております。

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