高純度ガス(純度99.999～99.99999％)や半導体用ガス・腐食性ガスの供給に最適です。
『SRQ-1HL・SRQ-1LL』は、二段減圧構造のため、二次側圧力の変動が極めて少なく、ガスの安定供給が可能な圧力調整器です。 スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは、オールメタルシールを採用しています。 オプションで組立環境(クラス10000orクラス10)や洗浄(禁油禁水のみor純粋洗浄)、電解研磨(ありorなし)などの選択が可能なので、ガス使用用途によりカスタマイズが可能です。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
『SRQ-1HL/SRQ-1LL』 ■一次側圧力(MPa)：1〜20 /1～3) ■二次側圧力(MPa)：0.1〜0.99 ■材質：SUS316L ■質量：1.3kg ■標準流量(m³/h) ・SRQ-1HL：160 (P1=15MPa,P2=0.99MPa) ・/SRQ-1LL：80 (P1=3MPa,P2=0.99MPa) ■最大流量(m³/h) ・SRQ-1HL：200(P1=15MPa,P2=0.99MPa) ・SRQ-1LL：100 (P1=3MPa,P2=0.99MPa) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
用途／実績例
腐食性ガスや高純度なガス供給に最適です。 材質、組立環境、洗浄、電解研磨などオプションがあり、 極めて高純度なガスが求められる半導体用ガスで多数実績があります。
企業情報
ヤマト産業株式会社は、大阪府大阪市にある、圧力制御機器の製造販売などを行っている会社です。 取扱い製品は、減圧弁、圧力調整器、ガス関連製品、一般工業用圧力調整器、分析機用圧力調整器、ガス供給ユニット、ガス供給設備プラント設計・施工、その他多岐にわたります。 ビールの泡からロケット、燃料電池など最先端分野まで、国内屈指の技術が生きています。