65nμm／5個の高清浄度を達成！25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理
『300mmウェハカセットレス洗浄装置』は、ファイナルポリッシュ後の 化学研磨工程で使用する製品です。 25枚のWfの隙間に25枚を入れハーフピッチにし50枚を一括処理しており、 65nμm／5個の高清浄度を達成しています。 【主な仕様】 ■被洗浄物：300mm 厚み 0.75t ■処理方法：カセットレスによるDip処理 ■処理速度：50 枚/5min（可変） ■装置内清浄度：0.1μm クラス1 ■パスライン：FL+900±5mm フープによる手動セット ■搬送方式：前面搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社ダン科学は、特にクリーンテクノロジーを中心とした洗浄技術・ 清浄技術・計測技術を核として、幅広い角度から未来を見つめ、創業以来の 開発魂を生かした新製品を作り続けています。 超洗浄装置・空気清浄装置・真空装置の製造から検査までの一貫作業を 清浄環境の中で行っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。