オリフラ合わせはスイッチにて切替可能！中央部で偶数列のウェハを反転させるウェハ移載装置
当社が取り扱う、『ウェハ移載装置』をご紹介します。 左右2台のキャリアハンドラーにより、1～6個のキャリアを高速搬送。 オリフラ合わせは、上合せ、下合せがスイッチにて切替可能です。 中央部で偶数列のウェハを反転させることができ、奇数列反転は オプションとなっております。 【主な仕様】 ■対象ウェハ：4 OR 5 OR 6インチの専用機 ■移載キャリア数：1～6個任意 ■オリフラ合わせ：スイッチにて切替可能（上合せ、下合せ） ■移載時間：6個で9分以内 ■装置寸法：1600mmX725mmX1450mm（4インチ仕様） ■装置重量：150Kg ■電源：AC100V、15A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社ダン科学は、特にクリーンテクノロジーを中心とした洗浄技術・ 清浄技術・計測技術を核として、幅広い角度から未来を見つめ、創業以来の 開発魂を生かした新製品を作り続けています。 超洗浄装置・空気清浄装置・真空装置の製造から検査までの一貫作業を 清浄環境の中で行っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
