passlineは400mm！SPMと中性洗剤＋USにより洗浄し、温水引き上げで乾燥をします
当社が取り扱う、『マスクガラス洗浄装置』をご紹介します。 マスクガラスをオリジナルカセットに収納しSPMと中性洗剤＋USにより 洗浄し、温水引き上げで乾燥。 工程は、LD → 水中 → SPM → Rinse → Rinse → 中性洗剤+US → Rinse＋US →Rinse → SC-1 → Rinse → Rinse＋MUS → Rinse → 温水引上 → ULDといった順に行います。 【主な仕様】 ■搬送方向：左left → 右light ■passline：400mm（LD.ULD） ■基板Mask：min 9”×9” ～ max 24”×24” ■本体寸法（材質） ・PVC巻き（アイボリー）：8000W×2350D×2600H（2900H） ・架台：SUS304製 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【制御】 ■recipe：30recipe ■TP：TFT collar ■PLC：三菱製 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社ダン科学は、特にクリーンテクノロジーを中心とした洗浄技術・ 清浄技術・計測技術を核として、幅広い角度から未来を見つめ、創業以来の 開発魂を生かした新製品を作り続けています。 超洗浄装置・空気清浄装置・真空装置の製造から検査までの一貫作業を 清浄環境の中で行っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。