装置本体とポンプユニットと制御盤で構成！薬液供給方法はCCSS方式の有機溶剤洗浄装置
当社が取り扱う、『有機溶剤洗浄装置』をご紹介します。 6″ウェハカセット用の自動エッチング洗浄装置で、制御方式はPLC。 装置本体とポンプユニットと制御盤からなっています。 洗浄プロセスはバッチ洗浄、流れ方向は左→右の3機ロボット搬送です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【主な仕様】 ■搬送：6″ウェハの2カセット搬送 ■洗浄プロセス：バッチ洗浄 ■流れ方向：左→右の3機ロボット搬送 ■制御方式：PLC ■薬液供給方法：CCSS 方式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【プロセス】 ■LD→SOLV.-1→SOLV.-2→N2 バブリング浸漬→QDR（O/F） →2-STEPS CASCADE（DI）→F/R→S/D→UL/D ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■6″ウェハカセット用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社ダン科学は、特にクリーンテクノロジーを中心とした洗浄技術・ 清浄技術・計測技術を核として、幅広い角度から未来を見つめ、創業以来の 開発魂を生かした新製品を作り続けています。 超洗浄装置・空気清浄装置・真空装置の製造から検査までの一貫作業を 清浄環境の中で行っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。