1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品応用例】 ・半導体、FPD検査装置 ・HDDテスタ ・レーザ光学系アライメント ・干渉系機器 ・分析機器 ・ナノメータポジショニング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
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ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| PS1H / PS1L 直動X軸ステージ | |
| PS2H / PS2L 標準直動XY軸ステージ | |
| PSVH / PSVL 標準直動Z軸ステージ | |
| PS3H / PS3L 標準直動XYZ軸ステージ |
カタログ（1）
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
