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【超精密位置決めピエゾステージ】光学ミラーアライメント用

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最終更新日:2023年05月24日

THKプレシジョン株式会社
THKプレシジョン株式会社
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レーザ光スキャニングに適しています

■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力(数百Nクラス)を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ/ドライバを介して簡単に行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    その他機械要素
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【超精密位置決めピエゾステージ】光学ミラーアライメント用

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【製品応用例】 ・光軸調整 ・キャビティ調整 ・レーザ光走査 ・レーザ加工 ・チルト調整 ・光バイオ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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型番 概要
1軸チルト(θx)
2軸チルト(θxθy)

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ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。

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