レーザ光スキャニングに適しています
■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【製品応用例】 ・光軸調整 ・キャビティ調整 ・レーザ光走査 ・レーザ加工 ・チルト調整 ・光バイオ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
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ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 1軸チルト(θx) | |
| 2軸チルト(θxθy) |
カタログ（1）
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。