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最終更新日:2022年05月30日

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グラフィカルに各種装置・PLCを制御!医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能

『半導体製造装置用プロセスコントローラー』は、当社の縦型減圧CVD装置 「HG-21」に搭載された、オリジナルの製品です。 産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能。 PCから簡単にプロセス条件の変更が行えます。またDI・DO・AI・AOで制御する 多くの装置に応用可能で、各種研究開発用装置に大いに利用できます。 【特長】 ■当社の縦型減圧CVD装置「HG-21」に搭載 ■グラフィカルに各種装置・PLCを制御 ■PCから簡単にプロセス条件を変更 ■DI・DO・AI・AOで制御する多くの装置に応用可能 ■各種研究開発用装置に大いに利用できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体製造装置用プロセスコントローラー

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新技術開発に魂を注がれておられます研究者様のお役に少しでも立ちたい。その思いから、当社ではCVD装置の開発、メンテナンス及びカスタマイズに技術を注いでおります。 アメリカから半導体製造装置がやってきて、凡そ35年、その黎明期から業界に携わり、今日にいたるまで多くの研究者様の助言を賜り、ハード面で技術を重ねてきた我々だからこそできることがあると信じております。

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