超精密洗浄分野に特化したフッ素系洗浄をベースに、お客様のニーズに合わせたご提案を致します
新オオツカ株式会社は、お客様の対象部品がご満足の行く洗浄精度が 確保できるかどうか事前に確認するため、お引き合いの段階で当該商品を 『テストルーム』に於いて必要な溶剤と共に検証させていただきます。 また、洗浄装置の他、下記のような分析装置各種を取り揃えております。 その他詳細につきましては、お気軽にお問い合わせください。 【分析装置各種】 ■電子天秤 ■金属顕微鏡 ■パーテクルカウンター ■油分測定器 等 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【分析機器仕様(一部)】 <YPI-Nシリーズ(自動搬送)ウェーハ表面検査装置> ■対応基板サイズ:最大200mm×200mm ■スキャン方式:X-Yスキャン/θ-Xスキャン(螺旋スキャン) ■スループット:□200mmを約4分/Φ200mmを約3分 ■ワーク装置:搬送ロボット(裏面吸着/エッジクランプ) ■装置外形寸法:W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm ■本体重量:約800 kg など ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
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新オオツカ株式会社は精密清浄装置の総合メーカーとして、環境保護の観点から地球環境に対する負荷を限りなく減らしながら、より一層の高い洗浄性と低コストの実現を目指します。 独自の洗浄剤リサイクル機構を備えたフッ素系溶剤対応洗浄システム、超純水洗浄システム、炭化水素系洗浄システムなど皆様のニーズにお応えする装置を送り出し続けます。