洗浄できている面積割合が、92％に到達することを明らかにした事例のご紹介です！
シリコンウエハー洗浄のメカニズムに関する事例をご紹介します。 ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、 圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証。 1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、 洗浄できている面積割合が、92％に到達することを明らかにしました。 【洗浄効果】 ■洗浄前：359～472um2 ■超純水洗浄後：320～482um2 ■超純水ジェット＋ウルトラファインバブル洗浄後 ・1000倍画像：28.65um2 ・3000倍画像：37.33um2 ※事例の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
本業は自動車部品等を加工する専用工作機械の設計です。マイクロバブルは2000年から研究しています。2006年、ループ流式マイクロバブル発生ノズルを開発。特許を申請し2008年5月に公開されました。2008年春からオゾンマイクロバブルシャワー装置を販売している会社に特殊タイプを供給しています。一般販売は2009年から始めました。