光学部品にもナノレベルの精度を！表面状態の影響を受けずに高い反射率を実現！
取引先の半導体メーカー様から、集積回路製造装置のセンサーに使われる プリズムのサンプル解析を依頼されました。当社で任意に油脂（汚れ）を 付着させて解析を行なったところ、汚れにより、全反射条件が崩れ、光量が 損失することが判明しました。 万が一、汚れが付着すれば、検知精度が下がって工程不良を引き起こす要因と なりうるため、早急な改善が急務でした。 そこで当社は、万が一、汚れが付着しても高反射を維持する高反射ミラーを 付与したプリズム「誘導体多層膜ミラー付きプリズム」をご提案。 半導体メーカー様から高い評価をいただき、すぐに採用となりました。 【事例概要】 ■課題：反射面の汚れが影響し、反射率の低下を引き起こす ■ソリューション：汚れが付着しても高い反射率をキープし、 精密な半導体製造の品質保持に貢献 ■ご紹介製品：プリズム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
東海光学株式会社の光機能事業部は、「光をコントロールする技術」を強みに、さまざまな製品づくりを支えています。1939年創業の長年の眼鏡レンズ製造で培われたドライコーティング技術を応用し、カメラや医療機器、通信機器、半導体など幅広い分野で使われる光学部品を開発しています。製品の設計から試作、量産まで一貫して対応できる体制が特長で、お客様のご要望に応じて最適な提案をいたします。 光の働きを活かして、産業や社会の発展に貢献しています。
