顕微鏡メーカーを問わず搬送可能！
『YATシリーズ』は、顕微鏡メーカーを問わず、検査側に ウエハ・ガラス関連製品を自動搬送・自動撮影できるシステムです。 自動ステージとの組合せでフルオート搬送でき、マニュアル搬送モード 単体機としても搬送可能です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択・マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■自動ステージ・カメラ制御による25枚自動撮影可能 ■ウエハ以外での部品にも対応実績あり ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
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基本情報
【仕様】 ■標準仕様 ・ウエハキャリアマッピング ・ウエハ飛び出し検出 ・エラーナンバー表示 ■オプション ・静電気対策（イオナイザー） ・クリーン度向上対策（HEPA/ULPA） ・サンプルサイズ・形状対応 ・ウエハサイズ共用（2種まで） ・複数カセット対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
当社は、顕微鏡の販売・レンタル・修理および工場・オフィス環境装置の 検査・分析トータルシステムのご提案を行っております。 工場や大学等の法人様を中心に、豊富な営業経験を生かした より良いシステムをご提供いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。