独自のスプレー配列により均一な現像処理を実現！メンテナンス性に優れる現像装置のご紹介
当製品は、露光処理後のパターニング現像装置です。 当社独自のスプレー配列により均一な現像処理を実現。スリップしづらい 搬送ロールを採用していますので、製品蛇行等によるレジストへのダメージを 軽減します。 また、現像チャンバーの蓋が大きく開口しますので、メンテナンス性に 優れています。 【特長】 ■均一な現像処理が可能 ■スリップしづらい搬送ロールを採用 ■製品蛇行等によるレジストへのダメージを軽減 ■高いメンテナンス性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装置仕様・構成例】 ■装置寸法：5,500mm×1,800mm（付帯含む） ■有効処理幅：500mm ■基材厚み：0.06～1.0mm ■搬送速度：0.5～3.0m/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
トーア電子グループは、EMS事業とウェットプロセス事業を基軸に、技術と革新を追求しています。 EMS事業では、企画開発から組立て・製造までの一貫体制を構築し、高ノイズ耐性・信頼性・耐久性に優れた電子機器関連サービスを提供しています。 映像・コンテンツ制作やサウンド開発を自社で手掛けることで、製品の付加価値を高め、独自の魅力を創出しています。 ウェットプロセス装置事業では、薄物フィルム基材対応の表面処理装置やウェットプロセス装置を提供。 基材のシワ・折れ・蛇行を抑える独自の搬送技術を駆使し、多様な搬送方式（水平・縦・フープ）に柔軟に対応。 フレキシブル基板、リジッド基板、パッケージ基板、ウェハなど、幅広い基材に対応した実績を有しております。 電子機器の信頼性と、表面処理技術の革新を追求し、次世代のものづくりを支える -- それがトーア電子です！