ウェハへの精密ブラスト加工で生産性アップ!前面でワークをセットするだけの簡単操作
『LED用サファイアウェハー裏面粗し』は、Φ6インチ以下の 各ウェハーサイズに対応した装置です。 本体前面でワークをセットするだけで自動で加工、加工粗さをRa=1μm程度に 精密に設定できるため、ラッピング機と比較して粗さの均一性に優れています。 切削量も精密に制御可能、Φ6ウェハーで70秒以下/枚の短時間で処理します。 【特長】 ■Φ6インチ以下の各ウェハーサイズに対応 ■加工粗さをRa=1μm程度に精密に設定できる ■ラッピング機と比較して粗さの均一性に優れている ■切削量も精密に制御可能 ■Φ6ウェハーで70秒以下/枚の短時間で処理 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。