世界唯一の266nm 8Wピコ秒レーザ！ サンプル加工受付中！
LDH-X0810は、SPX独自のLDGS方式により実現した世界唯一の266nm 8Wピコ秒レーザです。 266nm波長はあらゆる材料への光吸収率が高く、加工難易度の高いガラスや樹脂などの透明材料や複数の材料が混ざった複合材の加工にも適しており、今までに無い高品質な加工が可能です。 ★☆★加工実験承ります★☆★
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基本情報
【ビーム特性】 波長：266nm(DUV) 平均出力：>8W 繰り返し周波数：200kHz~1000kHz パルス幅：<15ps ビーム径：φ4.5mm±0.5mm 拡がり角：<0.5mrad (全角) 空間モード：TEM00 偏光方向：直線 ●高パルスエネルギー 機構内の固体増幅器を二重に組み込むことで、高出力化させ安定した高パルスエネルギーで効率的かつ高速に穴あけや切断などの加工が実現可能です。 ●パルススプリットモード パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。 ●高速加工 マルチパルスモード（バーストモード）は、パルスを細分化しての加工が可能になります。
価格帯
納期
用途／実績例
切断 スクライビング 薄膜除去 穴あけ トリミング リペアリング マーキング 材料接合 サブミクロン加工
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企業情報
半導体及び実装基板、半導体製造・検査装置、電子部品の微細加工等（主に穴あけやパターニング）に使用されるレーザ装置に光源として各波長：グリーン（532nm）・紫外（UV：355nm)・深紫外（DUV：266nm）のピコ秒レーザ発振器を提供しております。また装置化に必要な光学系の提案、開発、販売も行っています。