高出力シリーズ!532nmピコ秒レーザ
LDH-G2510は、固体増幅器2段構成の高出力グリーンピコ秒レーザです。 532nm波長は低コストである上に取り扱いも他の波長と比較し、容易である事から、特に金属やセラミックス材料の加工機として多く導入されています。
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基本情報
【ビーム特性】 波長:532nm(Green) 平均出力:>25W 繰り返し周波数:200kHz~1000kHz パルス幅:<15ps ビーム径:φ3.0±0.5mm 拡がり角:<0.4 mrad (全角) モード品質:M2<1.3 空間モード:TEM00 偏光方向:直線 ●高パルスエネルギー 機構内の固体増幅器を二重に組み込むことで、高出力化させ安定した高パルスエネルギーで効率的かつ高速に穴あけや切断などの加工が実現可能です。 ●パルススプリットモード パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。 ●高速加工 マルチパルスモード(バーストモード)は、パルスを細分化しての加工が可能になります。
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用途/実績例
・レーザ微細加工 切断 スクライビング 薄膜除去 穴あけ トリミング リペアリング マーキング 材料接合 サブミクロン加工
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半導体及び実装基板、半導体製造・検査装置、電子部品の微細加工等(主に穴あけやパターニング)に使用されるレーザ装置に光源として各波長:グリーン(532nm)・紫外(UV:355nm)・深紫外(DUV:266nm)のピコ秒レーザ発振器を提供しております。また装置化に必要な光学系の提案、開発、販売も行っています。