高ビーム品質の電光シリーズ！532nmピコ秒レーザ
電光シリーズのLDH-G0610は、ビーム品質にこだわり開発された発振器です。 薄膜の穴開けやパターニング加工に最適で、他の波長と比較しても低コストである上に取り扱いも容易なため薄いセラミックスや金属膜の加工に多く使われています。
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基本情報
【ビーム特性】 波長：532nm(Green) 平均出力：>6W 繰り返し周波数：200kHz~1000kHz パルス幅：<15ps ビーム径：Φ3.0±0.5mm 拡がり角：<0.4mrad モード品質：M2<1.2 空間モード：TEM00 偏光方向：直線 ●高ビーム品質 電光シリーズは数Ｗクラスの出力で対応できる加工に適しており出力を抑えている分、ビーム品質M²＜1.2と今まで以上に高品位なレーザで高品質な加工に適用できます。 ●パルススプリットモード パルススプリットモードで、低繰り返し周波数をコントロールでき、1Shotからの加工が可能になります。 ●高速加工 マルチパルスモード（バーストモード）は、パルスを細分化しての加工が可能になります。 ●コンパクトタイプ 画期的な設計により従来の発振器に比べて大幅な部品数の削除に成功し、約20kgの軽量化を達成しました。また、部品数を削減したことにより低価格化も実現いたしました。
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用途／実績例
・レーザ微細加工 切断 スクライビング 薄膜除去 穴あけ トリミング リペアリング マーキング 材料接合 サブミクロン加工
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企業情報
半導体及び実装基板、半導体製造・検査装置、電子部品の微細加工等（主に穴あけやパターニング）に使用されるレーザ装置に光源として各波長：グリーン（532nm）・紫外（UV：355nm)・深紫外（DUV：266nm）のピコ秒レーザ発振器を提供しております。また装置化に必要な光学系の提案、開発、販売も行っています。