500℃以上の高温に加熱しても皮膜にクラックが発生しないアルマイト加工！ 半導体製造装置の重要部品の表面処理に好適！
中国電化工業株式会社は、アルマイトを始めとする金属表面処理を行っています。 アルマイトの加工「クニマイト加工」には、 高温に強い皮膜で、50μmの膜厚を500℃で3時間加熱 しても表面にクラックが発生しない皮膜です。 また、500℃以上の高温に加熱しても皮膜にクラックが発生しないため、 高温になる部品にも使用することが可能です。 半導体製造装置の重要部品や電子部品などにおすすめの加工です。 さらに半導体製造装置へのク二マイト加工において、 クニマイトはパーティクル量の削減に効果を発揮します。 半導体製造装置は通常腐食系ガスを使用しているので、 プラズマからの熱影響でクラックが発生し、 そこから腐食が進行することにより、パーティクルが発生します。 クニマイトは熱によるクラックの発生がないため、 プラズマエッチング装置内で長時間使用してもパーティクルは発生しません。
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基本情報
【特長】 ■高温に強い皮膜 ■50μmの膜厚を500℃で3時間加熱しても表面にクラックが発生しない ■高温になる部品にも使用することが可能 ■パーティクル量の削減に効果発揮 ■熱によるクラックの発生が無い ■プラズマエッチング装置内で長時間使用してもパーティクルは発生しない
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企業情報
中国電化工業株式会社は、山口から未来のテクノロジーに挑戦するグローバルカンパニーです。 アルマイトを始めとする金属表面処理を行っています。 独自の技術で、半導体製造装置に使用されるアルミニウムへの表面処理を得意としています。 常にカーボンニュートラルを意識し、汚染防止に最善を尽くし、地球環境の保護・保全に努めています。
