高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤フリーのメカニズムで、コンパクトな設計!容易に取り付けられアフターメンテナンスも簡単!
『高真空対応ゲートバルブ』は、高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤 フリーのメカニズムで、コンパクトな設計です。低振動、高品質で多種を ラインアップしており、リーズナブルな価格でご提供いたします。 【仕様(抜粋)】 ■リーク量 ・本体(メタルシール):2.7×10^-11 Pa・m3/sec ・本体(バイトンシール):2.7×10^-10 Pa・m3/sec ・ゲート部:1・3×10^-9 PA・m3/sec ■使用真空領域:大気圧~2.7×10^-11 Pa・m3/sec ■圧空:5Kgf/cm2 ■取付方向:自由 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他仕様(抜粋)】 ■材質 ・本体:SUS304 ・ゲート:SUS304 ・ボンネット:SUS304 ・シリンダー:A6061 ・ベローズ:SUS304 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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