半導体製造に適した高精度位置決め技術のご紹介
半導体・エレクトロニクス産業向けソリューションに特化したマイクロサイトを公開中です。 製品プレゼンテーション動画などの詳しい情報をご覧いただけます。 ▼マイクロサイトURL▼ https://semiconductor.heidenhain.com/ja 見どころ ■Multi-DOF多自由度測定技術 LIP 6000 Dplus: 2自由度測定用高精度インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ GAP 1081: ギャップ測定用エンコーダ ■リニアエンコーダ LIC 3100: 高速アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ MC 15: RSF社製アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ ■高精度角度計測 ERP 1000: 超小型角度エンコーダ ERO 2000: インクリメンタル角度エンコーダ MCR 15: RSF社製組込み型アブソリュート角度エンコーダ
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ホームページにも半導体・エレクトロ産業向け製品をご紹介しています。 ぜひご覧ください。 https://www.heidenhain.co.jp/業界-アプリケーション/エレクトロニクス
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半導体製造・検査装置
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企業情報
長さや角度を、正確に測定する精密測定機器。ハイデンハインは、その心臓部(リニア・角度・ロータリエンコーダ)を一世紀以上の間、提供し続けています。その精密さ確かさは、わずか100万分の1mm(=1ナノメートル)の精密な長さや、100万分の1度という角度を正確に測定できる超高精度能力です。ハイデンハインの高精度測定技術は、半導体やエレクトロニクス機器、フラットパネルディスプレイ製造・検査装置、医療機器、また各種工作機械や機器、産業ロボット、航空宇宙探査などの宇宙産業、各種研究機関や研究室などにおいて、その実力を存分に発揮しています。