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【解析事例】MEMS静電アクチュエータの電界解析(静電気力)

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最終更新日:2026年07月29日

株式会社フォトン
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MEMS静電アクチュエータの電位分布、電界解析および電極間の静電気力を解析。静電気力は理論値とほぼ一致。

櫛歯型静電アクチュエータの電界解析の事例をご紹介致します。 静電アクチュエータは対向する電極に存在する電荷の符号で静電気力が 生じますので、電界解析を適用。 「PHOTO-VOLT」では、電位分布、電界分布に加え、電極に働く静電気力を 計算することできます。 また、解析結果として得られた静電気力のオーダーが妥当かどうか考えます。 詳しくは下記の関連リンクよりご覧ください。 【事例概要】 ■使用ソフトウェア:PHOTO-VOLT ■解析結果 ・静電気力(単位長さ当たり):0.792[N] ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【解析事例】MEMS静電アクチュエータの電界解析(静電気力)

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フォトンでは、電磁現象を利用した製品、部品などをコンピュータ上でモデル化し、 シミュレーションする「電磁場解析用ソフトウェア」を開発しています。 従来の設計や開発の現場においては技術者の方の経験に基づく試作と、試作品による実験をループにした試行錯誤が中心でした。 しかし、実際に試作品を使った実験を行いその結果を検討するには多大な時間とコストを要します。 今後は、実験・試作ベースから解析ベースの設計への移行が生産性向上において重要課題であり、解析ベースの設計技術の中核となるシミュレーション技術の確立が課題となります。 このような状況の下、フォトンでは、電磁場を中心に、熱、振動についての「解析ソフトウェア」を開発し提供させていただいております。フォトンのソフトを活用して頂くことで、各種工業製品の開発・設計を効率よく行うことが出来ます。このようにして、フォトンは、ユーザー様の製造現場において、試作の回数や開発費用の低減、開発期間の短縮を実現し、ひいてはユーザー様の競争力強化を支援していきたいと考えています。

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