ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能
当社は、テストウエハの半導体技術でお客様の技術開発を支援しております。 テストウエハのサービスは、ベアSiウエハ、膜付ウエハ、パターンウエハ等を提供し、 チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは 12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。 ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能、 ウエハサイズは300mm、200mm、チップ測定に対応しており、 お客様の設備でプラズマ処理を行ったウエハを測定し、 I/Vカーブ、Vbdマップのデータをご提供しております。 また、TDDB（Qbd）測定サービスも可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は20年以上にわたり、先端の半導体技術を駆使したテストウエハで、お客様の技術・製品開発を継続的に支援しております。 私たちのノウハウと経験は、半導体製造の枠を超え、ガスの瞬間加熱部品『ヒートビームシリンダー』の開発へと結実しました。この技術は、半導体領域だけでなく、多岐にわたる産業分野での活用が拡大しており、その実績と効果を証明しています。 技術的なご相談や製品のご要望がございましたら、いつでもお気軽にご連絡ください。
