アライメントステージのX・Y・θ軸の調整等に！超高精度とコンパクトの両立を実現
『ミリオンアクチュエータ 超小型15角サイズ』は、超高精度・高剛性な 性能を有する直動のアクチュエータです。 高精度な幅広ローラの採用により、従来のボールタイプに比べ接触面積が 大きいため、3倍以上の高剛性を実現。また、剛性を保ちながら低予圧化に成功。 これにより転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を達成しました。 その高い送り制度を活かし、露光機のミラー・レンズ・テーブルの高精度位置 決めにミリオンガイドが採用されています。 【特長】 ■超高精度とコンパクトの両立を実現 ■超小型15角サイズ ■ブラックとゴールドを基調にしたNEWデザイン ■高精度な幅広ローラの採用 ■剛性を保ちながら低予圧化に成功 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様（抜粋）】 ■型式：GMA1506A ■取付角：15×15mm ■有効ストローク：6mm ■軸方向推力 ・定格：20N ・最大：40N ■送りねじ：精密研削ボールねじ C3級 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微小角度調整 ■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ■カメラのフォーカス、位置調整 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社は、精密機械部品や、設備システムの販売を行っております。 主に軸受関連機器、直動関連機器、空・油圧関連機器、 電子・機構部品・制御機器、伝動関連機器、搬送関連機器などを 取り扱っております。 ■事業拠点・営業所 ・本社、本社営業部 ・東京営業所 ・北関東営業所（栃木） ・熊谷営業所 ・山形営業所 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
